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日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置，用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標(biāo)準(zhǔn))。

日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介：

HORIBA STEC質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測定時，須對溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測量。在須對流量進(jìn)行準(zhǔn)確計測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微電子加工制造業(yè)等。

提供多氣體，多量程的解決方案，是銷量很多的氣體質(zhì)量流量控制器。高精度，快速響應(yīng)，輕巧的尺寸。全金屬密封，橡膠密封

適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，低成本：產(chǎn)品系列中有力求具有成本優(yōu)勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60

用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標(biāo)準(zhǔn))

日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域：

化工/石化/石油/天然氣

醫(yī)藥/生命科學(xué)

食品飲料

LED FPD

冶金

電力能源及水處理

造紙

環(huán)境保護(hù)及控制

汽車

半導(dǎo)體/光伏

微電子

EPC及系統(tǒng)集成商

日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

型號SEC- (質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質(zhì)量流量計)E40E50