日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質量流量控制器主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)關注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行大量生產、實現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。
日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質量流量控制器產品簡介：
MARK3系列是在未改變質量流量控制器所須品質特性的條件下*底實現(xiàn)成本降低的量產產品。材質和泄漏規(guī)格則與一般型號產品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)關注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行大量生產、實現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。
日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質量流量控制器產品特點：
高精度、流量設定后快速應答(1秒之內)。
具有自動調零功能。
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